相控陣超聲檢測因其靈活的聲束形成以及快速成像性能得到了越來越多的關(guān)注,成為超聲無損檢測領(lǐng)域新近發(fā)展起來的研究熱點。
相控陣的概念起源于雷達(dá)天線電磁波技術(shù),超聲相控陣最早僅用于醫(yī)療領(lǐng)域。
近年來,隨著微電子、計算機等新技術(shù)的快速發(fā)展,超聲相控陣逐漸被應(yīng)用于工業(yè)無損檢測領(lǐng)域。
超聲相控陣通過各陣元發(fā)出聲束的有序疊加可以靈活地生成偏轉(zhuǎn)及聚焦聲束,不需更換探頭即可完成對關(guān)心區(qū)域的高分辨率檢測,且其特有的線性掃查、扇形掃查、動態(tài)聚焦等工作方式可在不移動或少移動探頭的情況下對零件進(jìn)行高效率檢測。
因此,較傳統(tǒng)的單晶片超聲檢測,超聲相控陣的聲束更靈活、檢測速度更快、分辨率更高、更適用于形狀復(fù)雜的零部件檢測。
超聲相控陣探頭是將若干個獨立的壓電晶片按照一定的排列方式組合成一個陣列,利用計算機技術(shù)控制壓電晶片的激勵順序及延時,來實現(xiàn)聲束的偏轉(zhuǎn)以及聚焦。