超聲相控陣檢測幾乎可以用于任何可以在傳統(tǒng)意義上使用常規(guī)超聲探傷儀的測試應(yīng)用中。焊接檢查和裂紋檢測是兩個更重要的應(yīng)用,因為它們用于各種工業(yè)領(lǐng)域,包括航空航天,電力生產(chǎn),石油化工,金屬坯料和管件的商品供應(yīng),運(yùn)輸管道的建設(shè)和維護(hù),結(jié)構(gòu)金屬以及一般制造業(yè)。
相控陣技術(shù)還可以有效地用于腐蝕測量應(yīng)用中,以縱向輪廓的形式顯示殘余壁厚。
超聲波相控陣檢測
相控陣技術(shù)優(yōu)于常規(guī)超聲技術(shù),因為它可以在單個探頭組件中使用多個芯片來偏轉(zhuǎn),聚焦和掃描聲束。使用通常被稱為扇形掃描的光束偏轉(zhuǎn),可以以合適的角度生成工件的映射圖像。
這大大簡化了檢測具有復(fù)雜幾何形狀的工件的過程。另外,當(dāng)檢測空間有限且不方便進(jìn)行機(jī)械掃描時,探針的底部較窄的底面及其從不同角度發(fā)射聲束而不移動的能力更有助于檢測此類復(fù)雜形狀的工件。
扇區(qū)掃描通常用于焊接檢查。使用單個探針以多個角度檢測焊接的能力大大提高了檢測異常焊接條件的可能性。電子聚焦可以在出現(xiàn)缺陷的位置優(yōu)化聲束的形狀和大小,從而進(jìn)一步提高檢測率。
聚焦于多個深度的能力還可以提高量化體積檢測中關(guān)鍵缺陷的能力。這種聚焦功能可以在具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用中顯著提高信噪比,并且沿著多組晶圓進(jìn)行電子掃描還可以快速生成C掃描圖像。
相控陣系統(tǒng)的潛在弱點是相對較高的成本和對操作員培訓(xùn)的要求。但是,由于相控陣技術(shù)的靈活性以及特定檢測的時間節(jié)省,經(jīng)常會補(bǔ)償高昂的成本。